【摘 要】
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影响干法腐蚀效果的因素很多,本文仅就为获得良好腐蚀结果,对几个关键工艺条件的优选原则作以介绍。在反应离子腐蚀技术中,气体组份的选择是最关键的一步。
There are many
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影响干法腐蚀效果的因素很多,本文仅就为获得良好腐蚀结果,对几个关键工艺条件的优选原则作以介绍。在反应离子腐蚀技术中,气体组份的选择是最关键的一步。
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