【摘 要】
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阐述电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma,ICP）光源中负载匹配箱的设计方案,对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路
【机 构】
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中国地质大学（武汉）机械与电子信息学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,北京海光仪器公司
【基金项目】
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国家十一五科技支撑计划项目(2006BAK03A01)
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阐述电感耦合等离子体（Inductively Coupled Plasma,ICP）光源中负载匹配箱的设计方案,对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路模型进行阻抗匹配仿真,根据仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略和参数范围。在多次等离子体的点火实验中,成功将氩气电离,顺利产生并稳定维持了环形球状等离子体火焰。
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