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根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型，并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果，分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型，可以与接口电路混合模拟，优化检测电路的设计。
振动式微机械陀螺的电学模拟
【摘 要】
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根据振动式微机械陀螺的动力学模型导出其等效的电学模型，并利用电路模拟工具对其进行了模拟。利用电路模拟结果，分析了陀螺的运动特性。利用这个电学模型，可以与接口电路混合模
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室
【出 处】
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功能材料与器件学报
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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国家重点基础发展规划项目《集成微光机电系统研究》的资助(No.G1999033101)
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