【摘 要】
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基于狭缝波导结构,设计了工作波长在890nm的聚合物基微环.从折射率传感的角度详细分析了狭缝波导的模场特性.分析了波导高度、宽度及狭缝宽度对灵敏度的影响.传统的狭缝波导
【机 构】
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大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁大连116024;大连工业大学基础教学部,辽宁大连116034;大连理工大学光电工程与仪器科学学院,辽宁大连116024
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基于狭缝波导结构,设计了工作波长在890nm的聚合物基微环.从折射率传感的角度详细分析了狭缝波导的模场特性.分析了波导高度、宽度及狭缝宽度对灵敏度的影响.传统的狭缝波导具有较高的弯曲损耗,这会影响微环谐振器的品质因子Q以及消光比.设计了非对称的狭缝结构,保证波导模式位于波导中央传输,降低弯曲损耗.为了条形波导与狭缝波导更好的耦合,设计了基于多模干涉结构的条形-狭缝波导模式转换器.仿真表明设计的微环谐振器的传感灵敏度达到109nm/RIU.
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