【摘 要】
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该型激光器采用了高气压、气体快速流动、封闭循环及多针对平板的放电方式。其总体结构由不锈钢箱体、高速轴流风机、高效热交换器、放电盒、稳定形谐振腔、充排气系统、高
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该型激光器采用了高气压、气体快速流动、封闭循环及多针对平板的放电方式。其总体结构由不锈钢箱体、高速轴流风机、高效热交换器、放电盒、稳定形谐振腔、充排气系统、高压电源及控制系统等几大部分组成。激光器工作时,首先将箱体抽真空,当真空度达到10~(-2)级以上时,将Co_2、N_2、He三种工作气体按比例充入箱体内,使气压达到额定工作气压。然后起动高速轴流风机,使气流高速通
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