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采用射频磁控溅射法在有机薄聚合物膜衬底上制备出铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)透明导电膜,对薄膜的低温制备(25～180℃)、结构和光电特性进行了研究.制备薄膜为多晶膜,具有纯氧化锌的纤锌矿结构和(002)择优取向.制备薄膜在可见光区透过率达到74%,最低电阻率为8.5×10-4Ω@cm.
磁控溅射有机聚合物衬底ZnO：Al透明导电膜的结构及光电性能研究
【摘 要】
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采用射频磁控溅射法在有机薄聚合物膜衬底上制备出铝掺杂的氧化锌(ZnO:Al)透明导电膜,对薄膜的低温制备(25～180℃)、结构和光电特性进行了研究.制备薄膜为多晶膜,具有纯氧化锌
【机 构】
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山东大学物理与微电子学院,长安大学基础部物理组
【出 处】
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太阳能学报
【发表日期】
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2003年1期
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