硫化铅多晶膜的研究

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为研制红外多元探测器阵列,我们采用柯达法制备了硫化铅(PbS)多晶膜,对它的结构特性和电学特性进行了研究。经过敏化处理的多晶膜微量氧是掺进晶粒间隙或缺陷的部位,形成敏化中心。薄膜中Pb,S,O元素分布是均匀的。 采用电子探针分析方法解决了薄膜表面微量氧的测定。 。 测试结果得出灵敏度高的多晶膜合适的氧含量和载流子密度的范围。
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