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从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。
电子级高纯气体输送系统
【摘 要】
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从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。
【机 构】
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上海正帆超净技术有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年02期
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