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[期刊论文] 作者：丁超越,孙方宏,王新昶,,
来源：真空科学与技术学报 年份：2017
针对金刚石涂层在小孔径内孔上制备的难点,提出双层热丝布局的不穿丝技术来实现热丝化学气相沉积金刚石薄膜在小孔径拉丝模内孔的沉积。基于有限容积法和正交试验法,对关键沉...
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