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[学位论文] 作者：万勇利,,
来源：哈尔滨工业大学 年份：2016
光刻机精密运动平台系统是工件台控制系统的核心部分,大体包括晶圆的步进扫描曝光和旋转换台两个部分。对这两部分的系统控制将极大地决定了光刻机的刻制精度和刻制效率。因...
[期刊论文] 作者：万勇利,韩记晓,魏凯,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
双工件台系统是光刻机控制系统的核心,在换台系统下工件台要实现两个工件台互换,换台过程复杂且需要宏动电机的配合,为了保证此过程的安全性又有很多的保护限制,过程中对于上...
[期刊论文] 作者：万勇利,魏凯,韩纪晓,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
光栅尺是设备中常用的位置检测装置,其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。C6000系列DSP芯片功耗低,而且具有高性能的处理能力,而且其EMIF接口与可以实现与外部存储扩展的无缝连接。本文介绍一种利用EMIF与FPGA的无缝连接,......
[期刊论文] 作者：万勇利,魏凯,韩记晓,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
VME总线因其实时性强、可靠性高等特点,使得其在工业控制中得到了广泛的应用。由于FPGA采用硬件并行进行逻辑运算,使其具有很高的运行效率。再加上它丰富的I/O口和简易的编程...
[期刊论文] 作者：万勇利,韩纪晓,赵为志,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
DSP芯片功耗低，具有很高的运算处理能力，且其EMIF接口可以实现与外部存储扩展的无缝连接。但是DSP本身没有足够的ROM来存放用户程序，这使得在DSP重新上电后，用户加载的程序会丢失......
[期刊论文] 作者：韩记晓,张常江,万勇利,刘洋,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
光刻机是超高精度控制系统,需要实现纳米级的运动与定位精度。而在光刻系统的换台过程中,公转电机处于核心位置,对其性能要求比较高,我们常用定位速度以及精度这些指标来衡量...
[期刊论文] 作者：韩记晓,万勇利,张常江,赵为志,陈兴林,,
来源：自动化技术与应用 年份：2016
工件台运动控制系统为强实时、高速高精的多轴运动,在实际控制中下位机是VME64x插槽上的嵌入式处理器主控设备。VME标准协议已经定义的线路都是一致被运行了Vxworks实时运动...
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