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[期刊论文] 作者:杨涛, 曹武亮, 万群平,, 来源:有机氟工业 年份:2018
半导体晶圆专用UPSS电子级氢氟酸在储存过程中容易受到污染且储存周期短,为2~3 d。从储存设备的内衬材质和新型特殊自呼吸装置两方面进行了研究。通过选择内衬材质和新型特殊...
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