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[会议论文] 作者：万蔡辛,
来源：第五届电声技术国际研讨会( International Symposium on ElectroAcoustic Tec 年份：2015
由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS结构的非线性"达芬"振动,影响其线性度和振幅,周边固支的圆薄板亦然.本文以一种新型高线性度弓形支撑梁和褶皱圆薄板为例,讨论了输入声强力与敏感位移转换环节间的线性关系.进一步地,讨论了M......
[期刊论文] 作者：万蔡辛,李丹东,梁新建,
来源：中国惯性技术学报 年份：2011
在微机械结构设计中常用有限元方法进行仿真,然而,通用的三维有限元仿真算法在进行有限元分析时耗时较长,影响了仿真效率。针对常规MEMS工艺仅有二维成形能力的特征,提出了将...
[期刊论文] 作者：胡淏,董景新,万蔡辛,
来源：现代导航 年份：2010
梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器，通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求，需要采用校正电路。微机械表头性能具......
[期刊论文] 作者：万蔡辛,李丹东,张春京,
来源：导航与控制 年份：2004
为明确微机械加速度计在振荡输入过程中直流输出的情况,着重分析了静电力反馈电容式微加速度计振荡频率低于微加速度计带宽和在微加速度计带宽附近两种情况下的失衡机理.为说...
[期刊论文] 作者：万蔡辛,董景新,刘云峰,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2007
冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使正常工作时敏感质量仅在平衡位置附近有微小位移的状况下成立的负反...
[会议论文] 作者：万蔡辛,董景新,刘云峰,
来源：中国航空学会飞行器控制与操纵第十二次学术交流会暨陀螺与惯导第三次学术交流会 年份：2007
冲击载荷强迫微加速度计的敏感质量大大偏离平衡位置,使差动静电力发生器的非线性效应体现出来,其结果是使原来的敏感质量在平衡位置附近发生小位移时成功建立的负反馈闭环系...
[期刊论文] 作者：胡淏,董景新,吴黎明,万蔡辛,,
来源：中国惯性技术学报 年份：2007
在与国家军用标准测试方法对比分析的基础上，由空间解析几何理论建立了微机械加速度计外壳坐标系和敏感部件坐标系的数学模型，提出一种测量失准角的“六位置法”：利用六面体翻滚......
[期刊论文] 作者：万蔡辛,付丽萍,薛旭,李丹东,,
来源：导航与控制 年份：2004
自微机电系统(MEMS)技术以IC工艺为基础发展以来,微机械加速度计便作为其中一个耀眼的应用实例大放异彩.在国外,上世纪九十年代就有低精度微加速度计产品,同时国内也开始了相...
[期刊论文] 作者：万蔡辛,李丹东,张承亮,薛旭,,
来源：导航与控制 年份：2011
为明确梳齿电容式与“三明治”电容式微加速度计的噪声极限与相关的三类结构形式对应的微机械加工工艺影响,着重分析了三种工艺实现下的典型参数微加速度计的大气环境下空气...
[期刊论文] 作者：胡淏,董景新,万蔡辛,曹宇,,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2010
双端音叉式硅微谐振器在制造过程中的误差会造成两根振梁谐振频率存在差异,这种差异严重降低了双端音叉式硅微谐振器的品质因数,进而造成传感器精度降低等问题。该文利用电容...
[期刊论文] 作者：董景新,曹宇,万蔡辛,胡淏,,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2010
硅微谐振式加速度计多采用双端固定音叉(DETF)作为谐振结构,而传统的单根振梁结构也具有其独特优势。该文通过理论分析、有限元仿真和实验验证,给出了2种谐振结构的比较结果:...
[期刊论文] 作者：万蔡辛,董景新,刘云峰,胡,,
来源：清华大学学报(自然科学版)网络.预览 年份：2009
静电力反馈微加速度计在突然受较大加速度冲击后出现振荡失效,严重影响工作可靠性。为查明失效原因,优化设计以保证全工作范围内稳定性,研究了系统动特性随外界加速度的变化...
[期刊论文] 作者：万蔡辛,李丹东,张承亮,陈效真,
来源：导航与控制 年份：2004
硅微谐振式微加速度计是各种MEMS加速度计中被普遍看好并期待为将来的高精度微加速度计发展的一个重要方向,正在全世界范围内被广泛研究.本文对硅微谐振式微加速度计的发展现...
[期刊论文] 作者：胡淏,董景新,万蔡辛,刘云峰,,
来源：清华大学学报(自然科学版)网络.预览 年份：2008
方波激励下的环形二极管电容检测电路应用于微机械加速度计是一种新的尝试。根据实践,该方案可以很好地在闭环系统中工作。该文建立了这种解调电路的数学模型,进行了误差分析...
[会议论文] 作者：胡淏,董景新,刘云峰,万蔡辛,
来源：中国航空学会控制与应用第十三届学术年会 年份：2008
梳齿式微机械加速度计是一种敏感电容极板间距变化的电容式传感器,通过静电力反馈构成力平衡式的闭环系统。为了满足稳定性、快速性等要求,需要采用校正电路。但在工程中,由...
[期刊论文] 作者：万蔡辛,董景新,刘云峰,胡淏,,
来源：清华大学学报(自然科学版) 年份：2009
静电力反馈微加速度计在突然受较大加速度冲击后出现振荡失效,严重影响工作可靠性。为查明失效原因、优化设计以保证全工作范围内稳定性,研究了系统动特性随外界加速度的变化...
[会议论文] 作者：郑旭东, 冯舟, 梁新建, 万蔡辛, 李丹东,,
来源： 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者：梁新建,郑旭东,李丹东,薛旭,万蔡辛,
来源：导航与控制 年份：2004
由于尺度效应带来的大变形问题,两端固支梁具有的硬弹簧效应将引发MEMS陀螺的非线性“达芬”振动,影响陀螺的线形度和稳定性.本文设计了一种新型高线性度弓形支撑梁,并通过数...
[期刊论文] 作者：孔春秀,李欣宁,赵俊庆,梁尤海,何政达,赵成龙,蔡春华,万蔡辛,魏琦,端木正,
来源：传感技术学报 年份：2021
基于微机电系统(MEMS)技术的声振传感器,设计了一种采集心脏低频振动信号的电子听诊器。所设计的MEMS硅麦克风,在传感器振膜结构上添加质量块,能够使传感器敏感于低频振动信号与声音信号;采用STM32主控模块设计滤波调理电路,通过听诊器振动膜结构采集信号;通过......
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