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[期刊论文] 作者：刘宝湘,杨萍,沈志唯,丛力人,
来源：真空科学与技术 年份：1990
一、引言自从1954年Gurewitsch和Westendorp发表“Ionic pump”以来。距离现在已有三十多年。在此期间,溅射离子泵取得了很大的进展,它已成为获得清洁超高真空的主要抽气设备...
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