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[期刊论文] 作者：张海磊,陆建恩,严古响,徐成保,孟欢,,
来源：电子技术与软件工程 年份：2016
SILVACO TCAD是一款半导体工艺和器件仿真的专用软件,具有良好的界面,精确的模型设计被广泛应用。本文利用SILVACO TCAD软件对VDMOS功率器件的工艺和器件参数进行仿真,根据仿...
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