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[期刊论文] 作者：刘玉学,中德振,等,
来源：真空科学与技术 年份：2001
通过电子自旋共振实验，红外光谱和透射－反射谱等手段，系统地研究了CH4＋SiH4和C2H2＋SiH4两种不同气源制备的具有高氢含量的a-Si1-xCx:H薄膜的微结构及其退火温度的变化，用网络再构和......
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