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[期刊论文] 作者：中村正春,张耀宏,,
来源：国外计量 年份：1989
【正】 1.前言现在,常用的触针式表面粗糙度测量方法是最可靠的方法。但近年来,由于软质材料的使用,加工超精密化或高速化的要求日益提高,所以出现了用光代替触针的测量法。...
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