搜索筛选:
搜索耗时2.7069秒,为你在为你在102,285,761篇论文里面共找到 11 篇相符的论文内容
类      型:
[期刊论文] 作者:于长淞,, 来源:长春理工大学学报(自然科学版) 年份:2012
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。分析了聚焦离子束刻蚀、电子束曝光等加工技...
[期刊论文] 作者:于长淞,, 来源:长春理工大学学报(自然科学版) 年份:2011
为实现物体振动的测量,将频闪照明和电子散斑干涉技术相结合测量物体振动,利用比被测物体振动周期短的脉冲激光照明物体,将物体在一个振动周期内的两个位置当作双曝光静态变...
[学位论文] 作者:于长淞, 来源:天津大学 年份:2009
电子散斑干涉技术是一种测量物体表面微小形变的非接触式测量技术,近年来获得了快速发展。本文把虚拟仪器技术引入电子散斑剪切干涉仪,使得仪器可以根据需要添加测量模块,方便功......
[期刊论文] 作者:方超, 于长淞,, 来源:光机电信息 年份:2011
研究了国内外镜片中心偏差主要测量方法,按其特点进行了分类,并介绍了每种方法的基本原理,分析了其测量特点和应用条件。...
[期刊论文] 作者:于长淞,方超,, 来源:液晶与显示 年份:2011
电子散斑干涉条纹的强噪声特性使其信噪比过低,常用的图像滤波方法对于散斑干涉条纹都存在一定的不足。针对散斑条纹的特点,建立了自适应滤波与小波变换相结合的组合迭代滤波方法。在对散斑条纹预处理基础上,通过选择不同的小波函数以及更改分解层次和函数中的......
[期刊论文] 作者:于长淞,向阳,, 来源:激光与光电子学进展 年份:2013
在点衍射干涉仪中小孔掩模的主要作用是通过衍射产生接近理想的球面波用于干涉测量,其直径、圆度及三维形貌对测量精度有决定性影响。介绍了小孔掩模的结构与作用原理,对小孔...
[期刊论文] 作者:于长淞,代雷,, 来源:国外电子测量技术 年份:2014
设计了一种用于迈克尔逊干涉仪横向剪切相移测量的精密相移系统。该系统采用压电陶瓷驱动器作为驱动元件,通过柔性铰链平移机构推动反射镜实现无摩擦、无间隙微位移。采用电...
[期刊论文] 作者:张春雷,向阳,于长淞,, 来源:中国光学 年份:2013
应用于高重复频率、高功率193 nm准分子激光器会聚光路中的针孔空间滤波器,除了需要考虑它的材料加工难易、厚度、针孔尺寸等因素外,还需考虑材料抗激光损伤特性。本文利用激光......
[期刊论文] 作者:高松涛, 武东城, 于长淞,, 来源:激光与光电子学进展 年份:2016
目前,高数值孔径(NA)投影光刻物镜都普遍采用非球面元件来提升光学系统的成像质量并降低系统的复杂度,但是高精度非球面检测一直是光学检测领域的一大难题,也是限制高NA投影...
[期刊论文] 作者:于长淞,齐克奇,张春雷,向阳,, 来源:电子测量与仪器学报 年份:2013
基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放...
[期刊论文] 作者:代雷, 吴迪, 张健, 张春雷, 于长淞, 谷勇强,, 来源:电子测量与仪器学报 年份:2015
为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。...
相关搜索: