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[学位论文] 作者：亓豹,
来源：河南大学 年份：2023
本文从光导开关的发展现状出发,对比分析了三代半导体材料作为光导开关衬底的优势和不足,在综合对比中选择第三代半导体碳化硅（SiC）材料作为光导开关的衬底材料。接着从激光利用率的角度出发,探讨能否在SiC光导开关的激光触发面加入一层增透膜,以提升光在SiC衬底......
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