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[期刊论文] 作者：赵武勇,付国卿,,
来源：中国石油和化工标准与质量 年份：2018
本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备、管道材料,密封面的选型以及灌装系统的真...
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