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[期刊论文] 作者：任多敏 ,谢 宁,
来源：物理实验 年份：2001
对涡轮分子泵无油超高真空系统及溅射离子泵无油超高真空系统的结构及操作方法作了介绍,并对它们相关的特性进行了讨论....
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