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[期刊论文] 作者：伝田精一,
来源：微电子学 年份：1981
笔者本月参观访问了扩散技术公司。该公司如其名称那样,正研究与扩散有关的技术,特别是研制所谓“旋转涂敷法”(Spin Rite)的杂质扩散源。旋转涂敷技术目前正逐渐广泛地应用...
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