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[学位论文] 作者：何沛凌,
来源：江苏大学 年份：2023
微悬臂梁传感器是一种比较常见的MEMS元器件,广泛应用于各个领域,通过设计不同的微结构能够实现不同的检测效果,还具有体积小、灵敏度高、分辨率高等优点,在生化领域的应用越来多,常被用于微小质量检测、液体浓度检测、气体浓度检测等各个方面。本文结合SON结构......
[期刊论文] 作者：郝秀春,王佳伟,何沛凌,
来源：微纳电子技术 年份：2021
根据描述硅原子表面扩散现象的理论动力学模型,采用水平集模块,利用COMSOL Mul-tiphysics(R)软件对空洞层上硅(SON)结构的形成过程进行模拟.通过改变硅沟槽的宽度、深度和间距等尺寸,仿真分析了这些参数对SON结构形成的影响.利用微电子机械系统(MEMS)工艺制备了......
[期刊论文] 作者：郝秀春,陈忠位,李宇翔,王佳伟,何沛凌,,
来源：计算机应用与软件 年份：2020
设计基于LabVIEW的MEMS电容式压力传感器测试系统,包括压力产生和自动控制装置部分及电容数据采集存储部分。采用NI myDAQ、标准压力传感器和高频电磁阀,结合LabVIEW的PID工具包实现压力自动控制。通过GPIB协议和MySQL数据库实现与阻抗分析仪通信和数据存储。实......
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