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[期刊论文] 作者:沙振华,盛凤,何良恩,, 来源:石油商技 年份:2012
本文介绍了苏南成品油管道投产前的清管情况;分析了在清管作业中仔存的问题及影响闲素,并有针对性地采取了解决措施;总结了新建成品油管线在清管作业过程中的注意事项。...
[期刊论文] 作者:卢海参,何良恩,刘建刚,, 来源:半导体技术 年份:2008
适宜的抛光工艺参数对Si片表面平整度聊、TIR、STIR等参数起到至关重要的作用。介绍了化学机械抛光(CMP)有效实现Si片全局和局部平坦化的方法和设施,指出并说明CMP是一种化学作...
[期刊论文] 作者:何良恩,凤坤,唐雪林,李刚, 来源:半导体技术 年份:2004
研究了一种新颖的添加了表面活性剂和HF的RCA的改进工艺,并和标准RCA工艺与目前被广泛采用的稀释RCA工艺进行了比较后指出,改进工艺对金属沾污和表面颗粒的有效去除能力,使0....
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