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[期刊论文] 作者：佘引,
来源：网络与信息 年份：2012
2011年11月，LED打印技术领导厂商OKI在北京中关村西区开设了一家官方形象店。消费者可以在这里亲身体验和试用OKI的LED打印机，感受LED打印技术的与众不同。 在官方形象店，笔者注意到，OKI展示了由LED打印机输出的各种类型纸质文档。这些文档的材质包括......
[期刊论文] 作者：尚正国, 李东玲, 佘引,,
来源：实验技术与管理 年份：2018
设计了基于压电效应的硅基AlN MEMS(微机械系统)振动能量收集器实验。从实践教学的角度,全面系统地介绍了能量收集器的基本原理、AlN压电薄膜的制备、能量收集器兼容加工工艺...
[期刊论文] 作者：李东玲,尚正国,佘引,王胜强,
来源：实验技术与管理 年份：2017
为了满足微电子学以及仪器科学与技术等专业实践教学与人才培养的需要,以MEMS加速度开关为应用对象,开展MEMS加工技术综合性实验研究。根据MEMS加速度开关的结构特点,设计加...
[期刊论文] 作者：尚正国,李东玲,佘引,陈宇昕,
来源：实验科学与技术 年份：2020
采用脉冲直流反应磁控溅射的方式在硅衬底上制备钼(Mo)电极。通过分析单一变量(如工艺真空度、气体流量等工艺参数)对Mo电极性能的影响,结合相关性实验设计规则,探究影响Mo电...
[期刊论文] 作者：李东玲,温志渝,尚正国,佘引,,
来源：Optoelectronics Letters 年份：2016
Thick SU8 microstructures with high aspect ratio and good side wall quality were fabricated by ultraviolet(UV) lithography, and the processing parameters were c...
[期刊论文] 作者：佘引, 温志渝, 赵兴强, 邓丽城, 尚正国,,
来源：传感技术学报 年份：2014
近年来,随着微能源的发展,微型压电振动能量收集器得到了广泛关注,但传统d31模式PZT薄膜微型压电振动能量收集器输出电压普遍较低,难以满足应用需求。为提高微型压电振动能量...
[期刊论文] 作者：李东玲,冯小飞,温志渝,尚正国,佘引,,
来源：Optoelectronics Letters 年份：2016
Stress controllable silicon nitride(Si Nx) films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition(PECVD) are reported. Low stress Si Nx films were deposit...
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