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[学位论文] 作者:侯安州,
来源:上海交通大学 年份:2009
压电陶瓷PZT具有压电系数高,而压电石英晶体具有频率稳定性高,抗外界干扰能力,以及动态响应特性好的优势,若能使二者有机结合,将有助于提高传统的以石英晶体作为敏感单元的压...
[期刊论文] 作者:倪鹤南,侯安州,李敏,徐爱兰,惠春,,
来源:压电与声光 年份:2009
采用改进的溶胶-凝胶(Sol—Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择......
[期刊论文] 作者:侯安州,惠春,徐爱兰,张艳丽,倪鹤南,,
来源:传感器与微系统 年份:2009
制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶-凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜,形成PZrr/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上......
[期刊论文] 作者:吴义伯,侯安州,倪鹤南,徐爱兰,惠春,任秋实,,
来源:半导体技术 年份:2007
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接......
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