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[学位论文] 作者:倪昊尹,, 来源:华东理工大学 年份:2015
西门子CVD法制备多晶硅是当今最为主要的高纯多晶硅制备工艺。其主要设备多晶硅还原炉内涉及气体的湍流流动,对流和辐射换热,含有大量中间产物的气相分解反应,多晶硅在高温表...
[期刊论文] 作者:倪昊尹, 陈彩霞,, 来源:人工晶体学报 年份:2015
针对SiHCl3-H2体系下硅的化学气相沉积过程,采用边界层反应模型和Chemkin模拟软件,耦合不同气相与表面化学反应机理,对不同条件下硅的沉积速率,高温下HCl气体对硅表面的侵蚀...
[期刊论文] 作者:陆时杰,陈彩霞,夏梓洪,倪昊尹,, 来源:华东理工大学学报(自然科学版) 年份:2015
硅烷流化床法是生产太阳能级多晶硅的重要技术,流化床反应器床层内的气泡大小和分布特性是影响晶体硅纯度和致密度的关键因素。使用TFM-KTGF两相流模型,基于Ansys Fluent软件...
[会议论文] 作者:徐礼嘉,陈彩霞,袁伯若,倪昊尹, 来源:第十三届现代数学和力学学术会议(MMM-XIII)暨钱伟长诞辰100周年纪念大会 年份:2012
用VOF 方法对单气泡上升行为进行直接数值模拟,对两相物性和气泡的最大稳态尺寸的关系进行较为深入的研究,以寻找准静态流体中气泡最大稳态尺寸的计算式.结果表明液体密度、...
[会议论文] 作者:倪昊尹,陈彩霞,陆时杰,钟真武,江宏富, 来源:中国工程院化工、冶金与材料工程学部第九届学术会议 年份:2012
改良西门子法是制造高纯多晶硅材料的重要技术路线,其中的主要设备化学气相沉积(CVD)反应器内所发生的物理化学变化十分复杂.对于反应器内热流体的传递及其与表面气相化学反...
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