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[会议论文] 作者：虞慧娴,孙士文,储远洋,周梅华,周昌鹤,徐超,杨建荣,
来源：2015年红外、遥感技术与应用研讨会暨交叉科学论坛 年份：2015
碲锌镉晶体和碲镉汞晶格常数具有绝佳的匹配性，可以将碲镉汞外延材料与衬底间的失配位错密度降到最低，是碲镉汞红外焦平面探测器的首选衬底。本文提出了梯度化学减薄腐蚀法对碲......
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