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[学位论文] 作者：关国坚,,
来源：华中科技大学 年份：2012
金属有机物化学气相沉积（Metal-Organic Chemical Vapor Deposition，MOCVD）是制备基于氮化物和ZnO等材料的光电子器件的一种新技术。MOCVD设备进行材料生长的过程中涉及到很多工...
[期刊论文] 作者：关国坚,,
来源：南方农机 年份：2017
机械自动化技术作为制造业中的一个关键技术,近年来也得到深入的研究和发展,将其应用到制造业中,不仅能降低经济成本,也能提升实际的工作效率。中国制造2025目标指出,到了202...
[期刊论文] 作者：关国坚,甘志银,,
来源：机电一体化 年份：2012
为了解决双波长测温不同波长的变换和精确定位测量的问题，设计了一种基于单片机的变换结构，利用电机匀速反馈控制电路和单片机周期捕获功能，准确跟踪和定位采样位置。基于这种结......
[期刊论文] 作者：关国坚,甘志银,,
来源：计量与测试技术 年份：2012
为了得到MOCVD工艺生长过程中石墨盘的温度分布,提出了基于红外测温法的非接触无损测量方法,使用自主研发的双波长红外测量仪,能够得到石墨盘的径向和圆周温度分布情况,对MOC...
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