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[学位论文] 作者：冯恺侃,,
来源： 年份：2010
真空机械手负责在集束型整机设备各个工艺腔室之间传输晶圆，是集束型设备的核心部件之一。真空机械手采用低压大间隙直驱电机驱动，对驱动器的接口和性能有特殊的要求,普通商用......
[期刊论文] 作者：冯恺侃,刘品宽,张波,,
来源：机电一体化 年份：2010
以单自由度运动平台为控制对象，基于dSPACE与Matlab搭建半实物仿真系统，实时调整PID参数。实验表明，半实物仿真系统控制效果良好，能缩短控制器开发周期。...
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