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[期刊论文] 作者：徐明,王洪涛,冯良桓,周心明,蔡亚平,冯技文,徐宁,麦振洪,
来源：半导体学报 年份：2004
利用射频辉光放电法，通过周期性交替切换两种耦合电极的方式，制备了μc-Si∶H/a-Si∶H多层膜．低角度X射线衍射(LAXRD)测试表明，这种多层膜具有良好的周期性结构．观察了上述多层膜......
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