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[期刊论文] 作者：周海,王黛萍,王兵,陈西府,冶远祥,,
来源：机械设计与制造 年份：2009
在分析化学机械抛光中常用抛光垫的材质、性能、表面结构基础上,研究了抛光垫对蓝宝石衬底抛光质量的影响规律:材质硬的抛光垫可提高衬底的平面度;材质软的抛光垫可改善衬底...
[期刊论文] 作者：周海,王黛萍,王兵,陈西府,冶远祥,,
来源：机械工程与自动化 年份：2008
抛光垫是晶片化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。研究了抛光垫对光电子晶体材料抛光质量的影响：硬的抛光垫可提高晶片的平面度；软的抛光垫可改善晶片的表面粗糙度；表面开槽......
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