搜索筛选:
搜索耗时0.0431秒,为你在为你在61,042,059篇论文里面共找到 1 篇相符的论文内容
类      型:
[学位论文] 作者:刁渤,, 来源:沈阳工业大学 年份:2020
上世纪50年代末Richard Feynman提出了MEMS技术的设想,60年代初期制成了第一只微型压力传感器,80年代,斯坦福大学Roylance等人研制出了首个硅材料压阻式加速度传感器。经过几...
相关搜索: