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[学位论文] 作者:刘义冬,, 来源: 年份:2006
随着红外探测技术在军事和民用领域的地位日益提高,近年来非制冷红外技术已成为红外技术低成本、小型化的主流发展方向,它采用目前日臻成熟的MEMS技术,利用光-热-电转化探测红外......
[期刊论文] 作者:朱忠益,刘义冬,金仲和,, 来源:传感技术学报 年份:2013
主要分析变面积式微机械加速度敏感元件中的固定平行电极间寄生电容对系统噪声的影响,建立敏感元件的电磁仿真模型,进行噪声公式的推导,并得到了实验验证。通过仿真分析发现,铝电......
[期刊论文] 作者:刘义冬,李铁,王翊,王跃林,, 来源:功能材料与器件学报 年份:2007
提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构,通过利用高精度光刻、LPCVD(low -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、IBE(ion beam etching)干法刻蚀、TMAH ((CH3...
[期刊论文] 作者:马铭骏,金仲和,刘义冬,马铁英,, 来源:Journal of Central South University 年份:2015
The noise of closed loop micro-electromechanical systems(MEMS) capacitive accelerometer is treated as one of the significant performance specifications.Traditio...
[期刊论文] 作者:刘义冬,刘杰,朱辉杰,李丹,金仲和,, 来源:天津大学学报(自然科学与工程技术版) 年份:2015
针对硅基微机械加速度计零偏往往随温度改变而漂移的问题,设计了一种新型的温度补偿电路. 通过理论研究和实验测试,发现微机械加速度计谐振频率与温度呈现非常好的线性关系....
[期刊论文] 作者:胡世昌,朱辉杰,马铭骏,刘义冬,金仲和,, 来源:纳米技术与精密工程 年份:2013
本文利用一由两个相互垂直的加速度计组成的栅结构谐振器来同时测量x轴和y轴的加速度以及z轴的输入角速度.此谐振器利用变面积电容进行检测,具有良好的线性度及快速的信号响...
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