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[期刊论文] 作者：冯泉林,周旗钢,王敬,刘斌,刘佐星,,
来源：稀有金属 年份：2005
快速退火(RTA)单晶硅片时,硅片内部会形成一种特殊的空位分布.空位的分布将决定后序两步退火(800℃,4h+1000℃,16h)后生成的洁净区宽度和氧沉淀密度.研究了N2气氛下,不同RTA...
[期刊论文] 作者：冯泉林, 史训达, 刘斌, 刘佐星, 王敬, 周旗钢,,
来源：半导体学报 年份：2006
300mm硅片中厚度合适的洁净区和高密度氧沉淀,有利于对器件有源区金属沾污的吸除,改善栅氧化物的完整性.文中使用Ar,N2/NH3混合气作为快速退火(RTA)气氛,研究RTA气氛对洁净区...
[期刊论文] 作者：张立,于晋京,李耀东,刘佐星,程凤伶,库黎明,,
来源：半导体技术 年份：2011
根据线切割机的工作原理,结合12英寸(1英寸=2.54 cm)单晶直径大、SiC磨削路线长和磨削发热量大的特点,制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量及各部分温度的工艺参数...
[期刊论文] 作者：蔡丽艳, 郝玉清, 安瑞阳, 赵伟, 刘佐星, 刘云霞, 郑捷,,
来源：价值工程 年份：2018
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[会议论文] 作者：张志国,张宇涛,刘佐星,曹培培,陈后财,孙艳桥,翟涛,
来源：暴雨新型探测资料应用技术研讨会论文集 年份：2011
给出了QFW-2A型全自动双通道微波辐射计5月份在宁夏银川一次降雨过程中进行大气积分水汽含量和云中液态水总含量监测的相关观测结果分析。分析结果证明了辐射计用于天气状况监测的可行性,辐射计的监测结果和记录的当天的天气状况具有高度的一致性。给出了在雷雨......
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