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[期刊论文] 作者:刘洪艳 李海丽,
来源:大科技·C版 年份:2018
摘 要:彩色滤光片生产工艺中每道工序都会因设备异常或其他原因造成基板NG,本论文包含对基板NG原因进行简要分析主要分为四種涂布异常、曝光异常、显影异常、以及基板表面Particle(微尘颗粒),分别针对不同原因造成NG通过Rework清洗工艺实现半成品再生,根据2018年上半......
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