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[期刊论文] 作者：李木军,沈连婠,郑津津,赵玮,李晓光,刘雳頲,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2007
光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响，是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一，为此，研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程，建立了相......
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