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[学位论文] 作者：刘雳颋,
来源：中国科学技术大学 年份：2008
1986年德国教授W.Ehrfeld首先开发的LIGA技术(lithographic、 Galvanformug、Abformug)实现了深度X射线光刻、电铸成型和塑料铸模技术的完美结合，被认为是最有,前途的三维微细...
[期刊论文] 作者：李木军,沈连婠,李晓光,赵玮,刘雳颋,郑津津,,
来源：机械工程学报 年份：2008
接近式紫外光刻中光刻胶图形形状失真是影响基于紫外光刻工艺的大深宽比微结构质量的重要因素之一。为把握其规律，并探寻减小光刻胶模型形状失真的对策，利用部分相干光理论建立......
[期刊论文] 作者：刘雳颋,沈连嬉,赵玮,于磊,张峰,田扬超,郑津津,,
来源：纳米技术与精密工程 年份：2008
为研究基于紫外光刻加工技术的光刻胶模型形状误差与工艺参数的关系,利用正交实验法对正性光刻胶AZ9260进行了实验研究.引入田口方法关于信噪比统一测度的思想,获得了各加工...
[期刊论文] 作者：李木军,沈连婠,赵玮,李晓光,范明聪,王晓东,刘雳颋,郑津津,,
来源：中国科学技术大学学报 年份：2007
基于Hopkins公式，研究了接近式紫外光刻中扩展准单色光源经柯勒照明系统传播到掩模表面上任两点的复相干度，并建立相应的基于部分相干光理论的光刻模型．应用部分相干光的传播理......
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