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[期刊论文] 作者：丁雪成,冯震宇,吴丽颖,单允章,,
来源：电子测量与仪器学报 年份：2008
真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。...
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