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[学位论文] 作者：单能飞,,
来源：国防科学技术大学 年份：2004
化学辅助离子束刻蚀属于干法刻蚀的一种,可用来对物理器件进行微细加工。这种干法刻蚀方法是在真空环境中加入反应气体利用离子源产生高能离子束对样品进行轰击,由于反应气体...
[期刊论文] 作者：单能飞,肖胜利,,
来源：红外与激光工程 年份：2007
由于法拉第效应揭示了光和磁之间的关系,可以利用它来制作磁光器件和传感器,用于光通信系统上。叙述了法拉第效应的原理,介绍了法拉第效应的应用及几种主要的磁光器件,对法拉...
[会议论文] 作者：单能飞,何小锋,袁哓东,
来源：第五届全国光子学大会 年份：2004
在研究化学辅助离子束刻蚀机理的基础上，提出了一种理想状态下刻蚀光子晶体的最简单的模型，并利用 matlab 软件模拟出来。...
[会议论文] 作者：何小锋,单能飞,袁哓东,辛靓,
来源：第五届全国光子学大会 年份：2004
反应离子刻蚀是 20 世纪 70 年代产生的一种干法刻蚀技术，至今仍广泛应用于微细加工领域。本文基于科研和实验室应用的角度，提出了一种反应离子刻蚀机的设计方案，该设备具有较高......
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