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[学位论文] 作者：卢增雄,,
来源： 年份：2013
极紫外光刻(Extreme Ultraviolet Lithography, EUVL)是适应于27nm~11nm节点的数代超大规模集成电路制造的光刻工艺，它采用13.5nm的曝光波长将掩膜上的电路图形成像到晶圆上。...
[期刊论文] 作者：卢增雄,金春水,马冬梅,
来源：光学学报 年份：2012
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论，分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响，确定了PDI检测极紫外光......
[期刊论文] 作者：王君,金春水,王丽萍,卢增雄,,
来源：光学学报 年份：2012
离轴照明技术(OAI)是极紫外光刻技术中提高光刻分辨率的关键技术之一。为了实现考虑掩模阴影效应情况下离轴照明的优化选择,构造了一种新型实现OAI曝光的成像模型。将照射到...
[期刊论文] 作者：卢增雄,金春水,张立超,王丽萍,
来源：光学学报 年份：2010
相移点衍射干涉仪中参考球面波的质量取决于小孔的直径、圆度和厚度，其中小孔的直径是最主要的因素，在实际加工前，需给出小孔直径的要求。基于矢量衍射理论，分析计算了三维结构小孔的衍射。分析了在均匀的TE偏振光和TM偏振光入射情况下，小孔直径大小对衍射波面质量的......
[期刊论文] 作者：杨光华,王宇,李璟,丁敏侠,卢增雄,
来源：光学学报 年份：2021
在相位光栅位置测量系统中,加工、后处理等工艺会导致光栅结构发生非对称性变形,增加了位置测量误差。因此,建立了非对称性光栅的衍射场理论模型,分析了光栅非对称性对位置测量精度的影响,并根据不同衍射级次对非对称性敏感度的差异提出了一种多衍射级次权重优......
[期刊论文] 作者：邱俊, 杨光华, 李璟, 卢增雄, 丁敏侠,
来源：光学学报 年份：2023
随着半导体产业的高速发展，集成电路制造中光刻工艺特征尺寸极限化微缩，套刻精度的要求也愈来愈极端严苛。本文基于影响套刻精度的核心技术，即对准技术，按照该技术中精密测量传感系统的设计和微纳测量对象对准标记的设计两个方面进行了归纳分析，就业内国际顶尖科技公......
[期刊论文] 作者：徐孟南,卢增雄,齐月静,李璟,马敬,
来源：激光与光电子学进展 年份：2021
相位光栅位置测量系统是实现超精密制造的核心，自参考干涉信号对比度是影响相位光栅位置测量精度的重要因素之一，而光束偏振特性直接决定了自参考干涉信号的对比度。采用琼斯矩阵和矢量形式反射定律，对自参考干涉仪棱镜中的传输光束进行了偏振追迹，构建了相位光栅位......
[期刊论文] 作者：齐月静,卢增雄,杨光华,刘成涛,彭卓君,,
来源：中国激光 年份：2015
通过微孔衍射产生高质量的球面波是进行夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)高精度标定的关键。采用时域有限差分(FDTD)法,进行了193 nm准分子激光照明下有限厚度有限电导率微孔的衍...
[期刊论文] 作者：孟庆宾,齐月静,卢增雄,苏佳妮,高斐,,
来源：中国激光 年份：2016
环境温度变化是影响夏克-哈特曼波前传感器(SHWS)测量精度的重要因素之一。采用Zemax软件热分析功能,分析了环境温度变化引起的微透镜阵列(MLA)变形及折射率变化、MLA和电荷...
[期刊论文] 作者：卢增雄,齐月静,齐威,苏佳妮,彭卓君,
来源：光学学报 年份：2015
在基于夏克-哈特曼波前传感器的深紫外物镜系统波像差检测中，均匀高亮度的照明光束是实现纳米精度波像差检测的关键。采用时域有限差分法和部分相干性理论对随机排列微孔阵列衍射波前的强度对比度进行了优化。与周期排列微孔阵列相比，采用随机排列微孔阵列，可获得......
[期刊论文] 作者：周光迎, 齐月静, 齐威, 卢增雄, 苏佳妮,
来源：光学学报 年份：2022
相位光栅（PG）标记是微位移测量系统的关键部件，提出了一种严格耦合波（RCWA）法与差分进化算法相结合的共振域PG标记设计方法，解决了标量衍射理论计算精度不足和参数遍历设计方法耗时太久的问题。基于自参考干涉位移测量模型，确定以测量光信噪比（SNR）之和最大为光栅标记设......
[期刊论文] 作者：丁功明,齐月静,卢增雄,卢荣胜,周培松,
来源：激光与光电子学进展 年份：2014
在亚波长金属单狭缝聚焦结构的基础上，提出了一种易于集成加工的亚波长金属单狭缝填充金属条的超分辨率聚焦结构。采用时域有限差分法（FDTD）对该结构的聚焦特性进行了仿真分析。......
[期刊论文] 作者：马敬, 齐月静, 卢增雄, 苏佳妮, 杨光华, 齐威, 张清,
来源：中国激光 年份：2004
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技...
[期刊论文] 作者：李琦,齐月静,卢增雄,张清洋,马敬,杨光华,苏佳妮,,
来源：半导体光电 年份：2020
匀光系统的均匀性是实现深紫外CMOS图像传感器参数测试的关键.根据傅里叶光学理论,结合ArF准分子激光输出光斑特点,设计了复眼阵列匀光系统的初始结构,并在ZEMAX非序列模式下...
[期刊论文] 作者：马敬, 齐月静, 卢增雄, 苏佳妮, 杨光华, 齐威, 张清洋,,
来源：中国激光 年份：2019
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