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[期刊论文] 作者:王卓,邹杰,周锌,卢慕婷,乔明,张波,,
来源:微电子学 年份:2013
提出了一种具有多阶场板的300 V薄层SOI RESURF nLDMOS器件.借助RESURF和MFP技术,优化了器件表面电场分布,避免了器件在表面提前击穿,提高了器件耐压.通过分析器件的结构参数...
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