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[期刊论文] 作者:向晓静,,
来源:科技致富向导 年份:2014
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[学位论文] 作者:向晓静,,
来源: 年份:2012
MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor Deposition)设备上的加热装置结构特殊,加热机理复杂,使得加热系统具有大时滞、非线性,并难以建立精确的数学模型。使用传统的PID (Pro...
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