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[期刊论文] 作者:吕亘亘, 来源:装备维修技术 年份:2020
摘 要:文章首先对屏蔽泵的结构进行阐述,解析其在多晶硅业当中的使用状况,对屏蔽泵经常出现的故障问题以及表现形式和原因进行统计和解析,指出其中故障以及物料之间生产操作联系,最后专门针对设备的布置以及设计类型等各个方面提出一些改善对策,以便确保屏蔽泵能安全......
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