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[学位论文] 作者：吕博嘉,,
来源：大连理工大学 年份：2008
本文以HWCVD法制备微晶硅薄膜为主要研究内容,利用X射线衍射谱、透射光谱、扫描电子显微镜、霍尔效应、伏安特性曲线和阻抗谱曲线对样品进行深入细致地分析,讨论工艺参数对微...
[期刊论文] 作者：吕博嘉,刘艳红,刘东平,刘爱民,刘韶华,马腾才,,
来源：真空 年份：2008
采用热丝化学气相沉积技术制备微晶硅薄膜,利用X射线衍射谱、Raman散射谱、透射光谱和扫描电子显微镜等检测手段,系统地研究沉积过程中沉积气压对微晶硅薄膜晶粒尺寸、晶态比...
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