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[会议论文] 作者：周庆刚[1]白新德[1]陈小文[1]彭德全[1]孙辉[2],
来源：第四届全国腐蚀大会 年份：2003
采用金属蒸汽真空弧离子源(MEVVA源)在TiN膜上注入分别注入三种剂量的离子.使用XPS和XRD测量膜层的成分和元素价态,以及膜层的主要相结构.材料表层生成了(Ti,Al)N新相,而且衍...
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