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[期刊论文] 作者:李亚国, 王健, 许乔, 杨炜, 周治鑫, 郭隐彪,,
来源:光电工程 年份:2008
本文研究了应用于平面光学元件的快速抛光技术,从材料去除率、元件面形和表面粗糙度出发,对快速抛光技术应用于平面大口径元件的加工效果进行了探讨。研究了在快速抛光技术中压......
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