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[会议论文] 作者：周珑[1]王天民[1]王聪[1]陈步亮[2]杜心康[1]茹宁[1],
来源：2006北京国际材料周暨中国材料研讨会 年份：2006
金属粒子镶嵌陶瓷介质复合薄膜具有独特的光学、电学以及太阳能采集与转换等功能特性.本文选用高纯金属Nb靶,以Ar为溅射气体,N2为反应气体,利用直流反应磁控溅射技术,通过控...
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