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[学位论文] 作者:唐优青, 来源:东华大学 年份:2014
低温等离子体工艺已经被广泛应用于微电子、印刷电路板封装、材料处理、航空及医学工业等工业领域。在实际生产中,随着被处理样品尺寸的增加,等离子体应用的最大挑战就是等离子......
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