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[学位论文] 作者:唐衍哲,, 来源:浙江大学 年份:2004
绝缘层上的硅(SOI)材料具有良好的光学和电学特性,成熟的集成电路(IC)制作工艺和设备可以应用或借鉴于SOI平面波导器件的制作中;硅的克尔(Kerr)效应、弗朗兹-凯尔迪什(Franz-Ke...
[期刊论文] 作者:唐衍哲,王跃林,吴亚明, 来源:光学学报 年份:2004
在绝缘层上的硅材料上制作了四种具有不同输入输出结构的星形耦合器并进行了测试 ,对脊形波导与平板波导相互过渡时过渡区的损耗问题进行了研究和讨论 ,计算得到在所使用的材...
[会议论文] 作者:唐衍哲,王文辉,李铁,王跃林, 来源:第五届全国微米/纳米技术学术会议 年份:2001
介绍了一种利用硅的各向异性腐蚀特性在SOI材料上实现的光功率分配器,文中阐述了分配器的结构原理,制作方法,并给出了初步的测试结果.该功率分配器利用硅和空气的界面作为全反射镜面在短距离内实现了输出分支的间距为250μm的低损耗功分器.......
[期刊论文] 作者:刘东栋,胡海波,唐衍哲,丁纯,王跃林, 来源:机械强度 年份:2001
光纤和光波导的耦合封装问题是实现集成光学器件实用化的关键技术.本文在分析了光纤和光波导端面耦合损耗产生原因的基础上,选择光纤定位槽作为封装载体,并且比较了不同晶向...
[期刊论文] 作者:郭伟,金仲和,唐衍哲,徐贻斌,崔忠升,王跃林, 来源:半导体光电 年份:2003
提出了一种新结构的光学环形谐振腔.该谐振腔由四根直波导和四个拐弯角处集成的全反射镜围成一个方形环构成,这种结构免去了以前的波导式环形谐振腔中必需包含的弯曲波导.设...
[期刊论文] 作者:王文辉,唐衍哲,戈肖鸿,吴亚明,杨建义,王跃林, 来源:半导体学报 年份:2005
研究了基于绝缘材料上的硅(SOI)材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺.利用电感耦合等离子体刻蚀(ICP)技术,在SOI材料上制作了垂直度大于89°的光滑的光栅槽面.氧化...
[会议论文] 作者:杨建义,江晓清,贾科淼,唐衍哲,王跃林,王明华, 来源:第五届全国光子学大会 年份:2004
本文首先报道所研制的具有传统结构的AWG,包括具有Gauss通带的AWG与采用多模干涉耦合器进行通带平坦化的AWG。利用硅刻蚀技术制作集成光波导微镜,构成波导阵列,提出并研制了具有......
[期刊论文] 作者:李广波,龙文华,贾科淼,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃林, 来源:光电子.激光 年份:2006
在Si基SiO2材料上设计并制作了中心波长为1.55μm、通道间隔为0.8nm的8×8阵列波导光栅(AWG)。详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析讨...
[期刊论文] 作者:李广波,龙文华,贾科淼,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃林,, 来源:光电子·激光 年份:2006
在Si基Si O2材料上设计并制作了中心波长为1.55μm、通道间隔为0.8nm的8×8阵列波导光栅(AWG)。详细介绍了器件的设计、制作和测试,并对测试结果及工艺误差进行了深入的分析...
[期刊论文] 作者:龙文华,李广波,贾科淼,屈红昌,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃, 来源:半导体学报 年份:2005
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28d...
[会议论文] 作者:贾科淼,唐衍哲,李柏阳,杨建义,江晓清,吴亚明,王跃林, 来源:中国光学学会2004年学术大会 年份:2004
在AWG 输入端设置多模干涉(MMI)耦合器,我们在SiO2 光波导材料上设计并制作了具有平顶谱特性的1×8 阵列波导光栅(AWG)。本文首先简要介绍了采用MMI 结构展宽AWG 滤波谱线的原理,给......
[期刊论文] 作者:龙文华,李广波,贾科淼,屈红昌,唐衍哲,吴亚明,杨建义,王跃林, 来源:半导体学报 年份:2005
采用高精度光刻版、PECVD材料生长、反应离子刻蚀和端面8°角抛光等技术,设计并研制了1×32硅基二氧化硅阵列波导光栅.研制的AWG芯片,其相邻通道引起的通道串扰小于-28dB,非...
[期刊论文] 作者:李柏阳,江晓清,唐衍哲,杨建义,王明华,李铁,吴亚明,王跃林, 来源:光学学报 年份:2002
设计了一种基于绝缘体上的硅材料的全内反射型阵列波导光栅解复用器件。将一全内反射波导镜引入原弯曲的波导列阵中 ,该波导镜具有偏振补偿的功能和缩小器件尺寸的特点。在器...
[会议论文] 作者:杨建义,唐衍哲,王文辉,贾科淼,江晓清,李铁,吴亚明,王跃林, 来源:第五届全国光子学大会 年份:2004
利用硅刻蚀技术,包括干法刻蚀、湿法各向异性刻蚀、或是干湿相结合,可以制作出实现光波导弯曲的具有低插入损耗的集成微镜。而将集成波导微镜应用于集成光子器件,将可以获得具有紧凑结构的器件。文中探讨了集成微镜的制作,并将集成微镜应用于多种集成光子器件的输入......
[期刊论文] 作者:江晓清,李柏阳,唐衍哲,杨建义,王明华,王文辉,杨艺榕,吴亚明,王跃林, 来源:黑龙江科技学院学报 年份:2003
为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7...
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