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[学位论文] 作者:喻立川,,
来源: 年份:2008
随着MEMS技术飞速发展,集成机械、电子、光学和生物功能的三维微器件或微机构得到了众多研究者的重视。三维微器件或机构可以广泛地用作传感器、执行器等,可以进行控制或能量...
[期刊论文] 作者:喻立川,,
来源:电子技术与软件工程 年份:2020
本文利用脉冲激光器进行多层(三层)材料穿透焊接试验,焊接母材最薄处仅0.08mm。通过试验,确定了焊接工艺参数,实现了超薄材料的密封性焊接,在利用氦质谱仪检漏的情况下漏率可达要求漏率小于1×10-10Pam3/s。通过工艺摸索,成功地利用脉冲激光代替真空电子束焊接(......
[期刊论文] 作者:杜立群,朱神渺,喻立川,,
来源:光学精密工程 年份:2008
SU-8光刻胶层内应力会使胶体结构开裂变形,而其在电铸液中的热溶胀效应则是造成微电铸结构线宽减小的主要因素,SU-8胶的内应力和溶胀性还严重地影响所制作图形的深宽比和尺寸...
[期刊论文] 作者:喻立川,谢彦辉,石静,
来源:仪器仪表标准化与计量 年份:2021
通过引进机器人手臂,利用计算机控制技术、网络技术、数据库技术、可程控的仪器仪表技术以及机械结构设计,建立压力、差压变送器自适应装夹标定装置,取代传统的单台人工装夹方式,通过机器人手臂抓取、放置变送器,实现批量、多品种变送器的自适应装夹,进行多工位......
[期刊论文] 作者:杜立群,喻立川,刘文涛,宋磊,,
来源:纳米技术与精密工程 年份:2009
在无背板生长工艺的基础上,以SU-8胶为牺牲层,直接在金属Ni基底上制作出了一种三维可动微机构.该器件的制作主要采用了SU-8厚胶光刻工艺、高深宽比结构的微电铸工艺以及牺牲层工......
[期刊论文] 作者:朱神渺,杜立群,刘冲,喻立川,王治宏,,
来源:纳米技术与精密工程 年份:2007
以薄膜内应力为指标,对SU-8负性光刻胶的工艺参数进行了优化.根据基片曲率法的原理,通过三因素三水平的正交实验,测量了9组不同工艺条件下SU-8胶层内应力的大小.引入模糊神经网络,......
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